傳統(tǒng)清洗技術(shù)包括機(jī)械摩擦清洗（噴砂清洗、高壓水槍清洗等）、化學(xué)腐蝕清洗、超聲波清洗、干冰清洗等，這些清洗技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)，如噴砂清洗通過選擇不同硬度的磨料可以清洗金屬繡斑、金屬表面毛刺、電路板表面三防漆等，化學(xué)腐蝕清洗技術(shù)廣泛用于設(shè)備表面油垢清洗、鍋爐水垢清洗、輸油管路清洗等領(lǐng)域。雖然這些清洗技術(shù)已發(fā)展成熟，但仍然存在一些問題，如噴砂清洗容易對(duì)處理表面造成損傷，化學(xué)腐蝕清洗會(huì)造成環(huán)境污染、處理不當(dāng)時(shí)導(dǎo)致清理表面腐蝕。

激光清洗技術(shù)的出現(xiàn)是對(duì)清洗技術(shù)的一次革命。激光清洗技術(shù)利用了激光的能量密度高、精度高、可高效傳導(dǎo)等優(yōu)點(diǎn)，較傳統(tǒng)清洗技術(shù)在清洗效率、清洗精度、清理位置等方面有明顯優(yōu)勢(shì)，可有效避免化學(xué)腐蝕清洗等清洗技術(shù)會(huì)造成的環(huán)境污染，且不會(huì)對(duì)基底產(chǎn)生損傷。

激光清洗是通過激光束照射從固體（或有時(shí)為液體）表面去除材料的過程。在低激光通量下，材料被吸收的激光能量加熱并蒸發(fā)或升華。在高激光通量下，材料通常會(huì)轉(zhuǎn)換為等離子體。通常，激光清洗是指用脈沖激光去除材料，但是如果激光強(qiáng)度足夠高，則可以用連續(xù)波激光束燒蝕材料。深紫外光的準(zhǔn)分子激光器主要用于光燒蝕。用于光燒蝕的激光波長(zhǎng)約為200nm。吸收激光能量的深度以及單個(gè)激光脈沖去除的材料量取決于材料的光學(xué)特性以及激光波長(zhǎng)和脈沖長(zhǎng)度。每個(gè)激光脈沖從靶標(biāo)燒蝕的總質(zhì)量通常稱為燒蝕率。激光束掃描速度和掃描線覆蓋率等激光輻射特征會(huì)顯著影響燒蝕過程。